高能脉冲磁控溅射
(D-HiPIMS)

【功能】

 ※  TiN 薄膜
 ※ CrAlN薄膜
 ※ 太阳能薄膜
 ※ DLC薄膜
    结合力>60N

等离子体电解氧化(PEO)

【功能】

 ※ Al / Ti / Zr / Nb/ Mg 等表面陶瓷化

 ※ 陶瓷涂层种类

Al2O3/ ZrO / NbO

Langmiur等离子体诊断系统

【功能】

  ※ 等离子体密度
  ※ 电子温度

  ※ 粒子能量

 

真空阴极弧设备(VCA)

【功能】

 ※生物芯片金膜

 ※浸润角大于90度DLC薄膜

结合力>40N

  

 

德国HiPIMS-4002高能量密度电源

【功能】

 ※ 等离子密度1018

 ※ 粒子能量100eV

 ※ 脉宽

 ※ 频率

喷射式等离子体电解氧化装备

 

【功能】

 ※ 液体流速：

 ※ 喷射距离：

 ※ 交互运动

 

  

摩擦磨损试验机

【功能】

 ※ 载荷范围：

   0～150N

 ※ 速度范围：

   0～3600转/分

 ※ 摩擦系数：

   f=0～1.0

 

  

MFT-4001多功能表面性能试验仪

【功能】

 ※压痕：0.5-100微米

 ※划痕：0.5-30微米

 ※往返摩擦：～300N

 ※粗糙度：±0.02微米

 ※台阶仪：2～200微米